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精密勻膠機

儀器型號：美國Smart Coater 100

購置年月：2012年6月

儀器簡介：

SmartCoater？精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的晶圓底物旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中領先的最大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定和極高的可重復性。

應用范圍：

   廣泛的應用于半導體生產，MEMS生產，薄膜技術，傳感器以及高級封裝技術之中。

技術參數：

1. 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

2. 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

3. 轉動速度：0-10,000rpm(可選更高速)

4. 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

5. 馬達旋涂轉速穩定性能誤差<±1%

6. 轉速調節精度<1rpm，重復性<1rpm

7. 工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

10. 設備尺寸32cm W×44cm D×30cm H